凈化車間裝修對溫濕度的控制【東鑫凈化】

凈化車間裝修的溫濕度主要根據(jù)工藝要求確定，但在滿足工藝要求的條件下，要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高，對溫度和濕度的要求越來越嚴格。

凈化車間裝修溫度的具體要求將在后面列出，但作為一般原則，隨著加工精度的提高，對溫度波動范圍的要求會越來越小。例如，在大規(guī)模集成電路產生的光刻曝光過程中，玻璃與硅片作為掩模材料的熱膨脹系數(shù)差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值較低，因為人出汗以后，對產品可能有污染，特別是鈉的半導體車間，這種車間不應超過25度。

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凈化車間裝修濕度高會導致更多的問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁暴露。如果它發(fā)生在精密設備或電路中，就會引起各種事故。相對濕度往往在50%生銹。此外，當濕度很高時，附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學地附著在表面，這是很難去除的。相對濕度、粘結力越高，則越難去除，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電顆粒對表面吸附的影響，還容易對大量半導體器件產生擊穿。硅片生產的最佳溫度范圍是35 - 45%。